文摘
一个新系统模拟发现任何杂质的影响或不同的设备,如不同的探测器沿等离子体路径扭矩,在等离子体电子密度等参数,电势,压力,温度。转矩两个等大的线圈和一个探测器模拟它们之间的电感耦合等离子体(ICP)模块COMSOL仿真程序。两种模式被认为是在隧道里,最重要的是两个线圈之间的存在和缺乏调查。比较结果和测量并显示在数字和图表。主要结果显示,任何探针的存在,即使是最轻微的等离子体边缘的渗透,可以影响等离子体的性质。软件仿真是最快的一个方法的结果至少成本。在更高级的工作在未来,它可以研究出几个大小不同的探针的存在以及等离子体温度波动的影响。
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引用
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Shahbazian,。,Salem, M.K. & Ghoranneviss, M. Simulation by COMSOL of Effects of Probe on Inductively Coupled Argon Plasma.布拉兹J phy51岁,351 - 360 (2021)。https://doi.org/10.1007/s13538 - 020 - 00821 - 3
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- ICP
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